HG104335磁性表座在半导体设备制造行业的应用

李鹏涛            QQ：3225959274              手机：18519813516            电话：010-64714988-177            传真：010-84786709-667            邮件：sales24@handelsen.cn

HG104335磁性表座在半导体设备制造行业的应用

夹紧力产生：液压

材料：阳极氧化铝、抛光易切削钢、塑料星形握把

球节臂：M6内螺纹

球关节脚：M8外螺纹

标准应用：16公斤

保持力 安全相关应用：12公斤

L1：124mm

L2：176mm

作用半径：300mm

标准磁铁 (LxWxH)：60x50x55mm

附着力标准磁铁：800 N 可切换

测量喙：ø 8 mm H7 和燕尾

Horger&Gassler液压测量台尺寸 300型号

104316 三脚架

104317 三脚架+测量喙，微调

104318 三脚架磁力表座+测量喙，微调

104319 三脚架磁力表座+测量喙没有微调+可旋转微调

104335 三脚架磁力表座+测量喙，微调+可旋转微调

104337三脚架磁力表座+测量喙没有微调

HG104335 磁性表座作为一种高精度、强吸附力的定位工具，在半导体设备制造行业中凭借其稳定的固定性能、灵活的调节能力和对精密环境的适应性，有着多方面的具体应用，主要体现在以下场景：

1. 设备组装与校准阶段

精密部件定位：在半导体设备（如光刻机、离子注入机、薄膜沉积设备等）的组装过程中，需要对导轨、滑块、轴承等精密运动部件进行微米级甚至纳米级的位置校准。HG104335 磁性表座可通过强磁力牢固吸附在设备的金属基座或机架上，搭配百分表、千分表或激光干涉仪等测量工具，实时监测部件的平面度、垂直度或位移量，辅助工程师调整部件位置至设计公差范围内。

基准面建立：半导体设备的核心部件（如晶圆载台、真空腔体）需要以特定基准面为参考进行安装。磁性表座可固定在设备的基准结构上，通过调整表座的旋转、伸缩等自由度，让测量工具的测头精准对准基准点，为后续部件的组装提供统一的位置基准。

2. 设备维护与检测环节

振动与位移监测：半导体设备在运行过程中，微小的振动或位移可能影响晶圆加工精度（如光刻图案的套刻误差）。HG104335 磁性表座可吸附在设备的关键运动部件（如丝杠、导轨）附近，固定振动传感器或位移传感器，长期监测设备运行时的稳定性，及时发现异常振动并进行维护。

管路与阀门校准：半导体设备中的气体管路、液体管路（如刻蚀气体、清洗液管路）需要严格控制流量和压力，管路的安装精度会影响流体稳定性。磁性表座可固定在管路支架上，通过百分表测量管路的水平度或垂直度，确保管路安装符合设计要求，避免因管路倾斜导致的流量波动。

3. 晶圆传输系统调试

传输轨道平行度调整：半导体设备的晶圆传输系统（如机械臂、传输轨道）需要保证晶圆在传输过程中平稳无偏移，轨道的平行度误差需控制在极小范围。HG104335 磁性表座可吸附在轨道侧面，搭配千分表沿轨道长度方向移动，测量轨道的平行度偏差，辅助调试人员通过微调轨道支架，确保轨道的高精度平行。

机械臂定位精度检测：机械臂在抓取和放置晶圆时，定位误差需小于微米级。磁性表座可固定在机械臂的运动路径附近，通过激光位移传感器或接触式测头，测量机械臂在不同位置的定位偏差，结合控制系统进行参数修正，提升机械臂的重复定位精度。

应用优势

强吸附与稳定性：HG104335 磁性表座的强磁力确保其在金属表面（如设备机架、不锈钢腔体）上的牢固固定，即使在设备轻微振动时也不会松动，保证测量工具的稳定性，避免因表座滑动导致的测量误差。

灵活调节与兼容性：表座通常具备多关节调节功能（如旋转、伸缩、倾斜），可根据测量需求调整固定角度和高度，适配不同位置的测量场景，且兼容多种测量工具（百分表、千分表、传感器等），提升使用灵活性。

无损伤固定：磁性吸附方式不会对设备表面造成机械损伤（如钻孔、焊接固定可能破坏设备结构或密封性），尤其适用于半导体设备中精密金属部件的临时固定需求，保护设备的完整性。

综上，HG104335 磁性表座通过提供高精度、稳定且灵活的定位与固定功能，在半导体设备的制造、校准、维护等环节中发挥着关键作用，间接保障了半导体器件的加工精度和可靠性。

HG104335磁性表座在半导体设备制造行业的应用